原理
数显真空传感器通过物理效应与电子技术融合，将真空环境中的压力变化转换为可测量的电信号，最终以数字形式显示真空度值。其核心原理可分为两类：
压阻式：利用半导体材料的压阻效应，当真空环境中的气体分子碰撞压敏元件（如硅膜片）时，膜片形变导致电阻变化，经惠斯登电桥转换为电信号，再通过智能芯片进行非线性修正和温度补偿，输出线性标准信号。例如，某型号传感器在0.1-10⁵Pa范围内，分辨率达0.1Pa，可捕捉晶圆表面微米级形变。
电容式：硅膜片作为敏感元件，在大气压力下向上鼓起，鼓起程度随真空度变化而改变，导致电容两极板间距变化，电容值随之改变。通过测量电路将电容值转换为电压或频率信号，推算真空度。例如，某型号传感器在10³-10⁵Pa范围内，分辨率达2.0Pa，可确保镀膜厚度均匀性<1%。
选型
选型需综合考虑以下因素：
量程与精度：根据应用场景选择合适量程，如低真空（1000Pa-10Pa）可选热导式，中真空（10Pa-10⁻³Pa）适合压阻式，高真空（10⁻³Pa-10⁻⁹Pa）需电容式或磁悬浮式。精度要求高的场景（如半导体制造）需选择误差<1%的传感器。
环境适应性：若环境温度变化大，需选择带温度补偿功能的型号；若存在酸碱气体，需选择抗腐蚀材料。
响应时间与稳定性：动态压力监控场景需选择响应速度快（如毫秒级）的传感器；长期稳定性要求高的场景需选择抗漂移能力强的型号。
应用
数显真空传感器广泛应用于多个领域：
半导体制造：实时监测真空腔内压力变化，确保光刻、蚀刻等工艺精度。
真空镀膜：精确控制真空度，避免镀膜层出现针孔或裂纹。
真空冶金：监测钢液炉外真空脱气和精炼过程，优化工艺参数。
科研实验：监测高真空环境下的气体吸附/脱附过程，为新材料研发提供数据支持。
